CVD 碳化矽(SiC)塗層

特 性 :
⏺ 極高的耐高溫性 : CVD形成的SiC塗層，可長期在 1000°C以上環境下穩定使用，不易氧化，熱膨脹係數低，熱穩定性佳。
⏺ 高硬度與耐磨耗性 :     莫氏硬度約 9.2–9.5，僅次於鑽石與立方氮化硼（cBN），可有效防止機械磨損、粒子撞擊與蝕刻損耗。
⏺ 優異的化學惰性 : 對酸、鹼及大多數化學藥液（如HCl、HF、H₂SO₄）都有極高耐腐蝕性。適合用於半導體蝕刻腔體、石英部件保護塗層等。
⏺ 高純度與低顆粒污染 : 可控制雜質含量極低（>99.999%）。表面光滑、顆粒脫落率極低，適合高潔淨度製程（如晶圓蝕刻與CVD/ALD腔體）。
⏺ 良好的熱導性與電絕緣性 : 熱導率高（約120–200 W/m·K），可迅速散熱，同時具有優良的電絕緣性，在高溫下仍能隔離電流。

應 用 : 
(1) 半導體產業應用
      ⏺   晶圓載具、環形部件、反應腔內壁、隔熱罩
      ⏺   MOCVD、LPCVD、PECVD反應腔零件
      ⏺   長晶或磊晶設備的承載盤
      ⏺   乾蝕刻腔體的保護層
      ⏺   CMP設備高耐磨摩擦表面塗層
      ⏺   快速退火載盤
(2) 航太與能源應用
      ⏺   燃氣渦輪葉片、燃燒室內襯
      ⏺   熱交換器與熱防護罩
      ⏺   SiC纖維複合材料表面防護塗層
(3) 光學與精密應用
      ⏺   紅外線光學元件基板保護層（提高抗氧化與耐磨性）
      ⏺   高反射鏡基座（保持形狀穩定與高表面光滑度）
(4) 其他應用
      ⏺   核能材料包覆層
      ⏺   高溫感測器與探針外層保護膜
      ⏺   硬質塗層刀具或模具材料

服 務 :

◼️ 提供CVD 碳化矽(SiC)塗層代工服務。