石墨玻璃碳塗層

特 性 :

⏺  以石墨基材為基底，經特殊有機聚合物高壓滲入與高溫熱處理技術，於基材表面與裏層形成玻璃碳結構。
⏺  塗層兼具高純度、高緻密性、耐蝕性與不易發塵等特性，提升石墨材料於半導體製程中的可靠度與耐用度。
⏺  玻璃碳塗層兼具玻璃的非晶結構與石墨的導電性與耐熱性，被應用於製程設備與元件的保護。

特 點 :
⏺  粉塵降低：塗層能封閉表面孔洞，減少微粒釋放造成汙染，提升半導體製程良率。
⏺  硬度增加：玻璃炭塗層提升石墨表面強度，耐磨性較未處理提升 30%以上。
⏺  密度增加：含浸碳化後孔隙率下降，塊材更緻密，使用壽命延長。

                     欣榮材料玻璃狀碳塗層 (X300偏光顯微鏡)

應 用 : 
(1) MOCVD 磊晶設備石墨承載盤
(2) 離子植入機石墨零組件
(3) 半導體蝕刻與沈積設備腔體石墨部件
(4) 光電與感測元件製造用石墨治具

                    MOCVD石墨承載盤                                                     離子植入機石墨配件

 物化性能指標 : 

                                                                硬度與含浸深度關係圖

服 務 :

◼️ 提供石墨玻璃碳塗層整體設計與代工服務。